洲上凈化廠家分析無塵車間能耗成本

由于無塵車間建設(shè)費(fèi)用很高且不同潔凈等級(jí)的建設(shè)費(fèi)用相差較大，因此，在無塵車間設(shè)計(jì)過程中，設(shè)計(jì)師不僅需要合理布置工藝設(shè)備以盡量減少潔凈區(qū)的面積，而且也要針對(duì)不同的生產(chǎn)環(huán)節(jié)設(shè)置不同的潔凈等級(jí)。

洲上凈化廠家分析無塵車間能耗成本

目前，12英寸集成電路芯片制造工廠普遍采用“開放式無塵車間加微環(huán)境”的方式，將芯片制造過程中對(duì)空氣潔凈度要求十分嚴(yán)格的硅片加工過程布置在1級(jí)-4級(jí)的微環(huán)境裝置內(nèi)，而開放式無塵車間的潔凈度等級(jí)只需5級(jí)-6級(jí)，這樣就有效地降低了建設(shè)/運(yùn)營投資以及能耗。

在我國，潔凈廠房的能源消耗是相當(dāng)大的。能源消耗主要用于生產(chǎn)設(shè)備用電和用熱、凈化空調(diào)系統(tǒng)的耗電/耗熱和冷負(fù)荷、冷凍機(jī)組的耗電、排氣裝置的耗電和耗熱、超純水和氣體的制取和輸送以及公用設(shè)施和照明的用電等。

為達(dá)到無塵車間要求的空氣潔凈度等級(jí)，無塵車間的循環(huán)風(fēng)量很大。一般空調(diào)房間的每小時(shí)換氣次數(shù)只需要幾次，而無塵車間每小時(shí)換氣次數(shù)達(dá)到10次～600次。由于技術(shù)的原因，我國的無塵車間在能耗方面又高于歐美發(fā)達(dá)國家。

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