集成電路
無塵車間是為了滿意半導(dǎo)體制作工藝需求的潔凈室,該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC操控等都有必定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室,集成電路制作無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度操控精度高級特色。下面洲上凈化給我們扼要介紹下集成電路無塵車間施工要求。如下:
1、在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間規(guī)劃中被廣泛應(yīng)用,對于大面積高級級的潔凈車間則存在運轉(zhuǎn)本錢過高、占用空間過大等缺陷。
2、規(guī)劃可以滿意集成電路制作無塵車間大面積高級級的要求,運轉(zhuǎn)本錢較高,而且潔凈室風速、風量調(diào)理困難,系統(tǒng)升級改造困難,因此操作靈活性很低。
3、FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運轉(zhuǎn)空間、潔凈度安全性高、運轉(zhuǎn)本錢低,操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整,都能很好地滿意半導(dǎo)體制作的需求,在半導(dǎo)體制作業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐步成為最主要的凈化規(guī)劃方案。
4、整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔佐層和回風通道組成,由FFU提供循環(huán)空氣的動力,將新風、循環(huán)風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔佐層,靜壓層相對于工藝層為負壓。
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