東莞無塵車間的溫濕度主要根據(jù)你的加工工藝要求決定,在滿足加工工藝的條件下,應(yīng)該考慮人的舒適感。 隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高,必須達到一定的溫濕度等級。 例如,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,要求作為掩膜材料的玻璃和硅片的熱膨脹系數(shù)的差越來越小。 直徑100 um的硅片,溫度上升1度后,會引起0.24um的線膨脹。 因此,需要0.1度的恒溫。 另外,濕度值一般要求較低。 因為人出汗后,產(chǎn)品有污染。 特別是在怕鈉的半導(dǎo)體工廠,這種東莞無塵車間不能超過25度。 濕度過高問題就多了。 相對濕度超過55%時,冷卻水管壁發(fā)生結(jié)露,如果在精密裝置和電路中發(fā)生,會引起各種事故。 相對濕度為50%,容易生銹。
但是,在大部分東莞無塵車間中,為了防止來自外部的污染侵入,需要使內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力)靜壓。 壓力差的維持一般應(yīng)滿足以下原則。
1、清潔度等級高的空間的壓力比相鄰清潔度等級低的空間的壓力高。
2、連接潔凈室之間的門可以開在潔凈度高的房間里。
3、潔凈空間的壓力應(yīng)高于非潔凈空間的壓力。
壓力差的維持依賴于新風(fēng)量,該新風(fēng)量需要能夠通過該壓力差補償從間隙泄漏的風(fēng)量。 因此,壓力差的物理含義是風(fēng)量泄漏(或滲透)到潔凈室的各種間隙時的阻力。
關(guān)于湍流東莞無塵車間,主要為了通過空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,主要使用換氣次數(shù)的概念而不是速度的概念,但對于東莞無塵車間室內(nèi)氣流速度也有以下要求。
1、送風(fēng)口出口的氣流速度不要太大。 與單純的空調(diào)室相比,要求速度衰減快,擴散角度大。
2、穿過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時的回流速度)請勿過大,以免吹出表面的微粒返回氣流,引起再次污染。 此速度通常請勿使0.2m/s大幅干燥。
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