無(wú)塵車(chē)間溫濕度主要根據(jù)產(chǎn)品需求的生產(chǎn)工藝來(lái)決定，在滿(mǎn)足產(chǎn)品工藝要求的同時(shí)，也考慮到了工作人員的舒適性。 隨著無(wú)塵車(chē)間空氣凈化等級(jí)的提高，各類(lèi)工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)格。
總之，產(chǎn)品的加工精度越高，對(duì)溫濕度變動(dòng)的要求也越高，溫濕度變動(dòng)的范圍也要求越小。 例如，在一些大規(guī)模集成電路的光刻曝光工藝中，直接只有100微米的材料，環(huán)境溫度和要求直接相差1度，就會(huì)產(chǎn)生材料的零點(diǎn)微米的偏差，在這樣高精度要求的無(wú)塵車(chē)間中是非常嚴(yán)重的生產(chǎn)事故。 因此，該工藝需求溫差保持在正負(fù)0.5之間。
另外，對(duì)濕度的高精度產(chǎn)品要求也非常嚴(yán)格。 在一些電子元器件的生產(chǎn)中，空氣潮濕直接影響芯片的質(zhì)量。 大部分硅基產(chǎn)品的無(wú)塵車(chē)間濕度范圍嚴(yán)格規(guī)定在30-45%之間。
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