無塵車間能夠分成下列好多個級別:1級、千級、萬級、千級、十萬級、三十萬級、百萬級。
每立方將低于0.5微米粒度的浮塵總數(shù)操縱在3500個下列,就做到了國際性潔凈規(guī)范的A級。現(xiàn)階段運用在芯片級生產(chǎn)制造的潔凈規(guī)范針對塵土的規(guī)定高過A級,那樣的高標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵被運用在一些級別較高芯片生產(chǎn)上。浮塵總數(shù)被嚴(yán)控在每立方1000個之內(nèi),這也就是業(yè)界別名級別中的萬級。
無塵車間詳細地址的挑選應(yīng)合乎有益生產(chǎn)制造、便捷日常生活、節(jié)約項目投資和經(jīng)營費用的標(biāo)準(zhǔn)。無塵車間與交通出行主干路間隔宜50米之上。
生產(chǎn)地應(yīng)建在地理環(huán)境和水體不錯,空氣煙塵濃度值較低,地貌、等高線、地形地貌導(dǎo)致的微氣候有益于生產(chǎn)制造、環(huán)保節(jié)能的地區(qū),應(yīng)杜絕很多釋放煙塵、濃煙、有危害汽體和微生物菌種的地區(qū),如飛機場、鐵路線、港口、交通干道等,并在污染物和全年度核心風(fēng)頻的優(yōu)勢側(cè)邊,且有相應(yīng)的安全防護間距。