無塵車間實際操作處理芯片時注意事項
1.處理芯片時,務(wù)必戴上無纖維手套,應(yīng)用清潔過的潔凈鑷子夾住芯片,切勿以手指頭或其他任何東西觸碰芯片,遭觸碰污染過的芯片需經(jīng)清潔,方得再次應(yīng)用:
(1)任何一支鑷子前面(即夾住芯片端)如被觸碰過,或者鑷子墜落地面上,務(wù)必拿來清潔切勿用衛(wèi)生紙或布擦試臟鑷子。
(2)芯片清潔后開展下一程序流程前,若被手指頭觸碰過,務(wù)必再次清潔。
(3)把芯片置放于石英舟上,提前準(zhǔn)備進(jìn)爐管時,若發(fā)覺常用鑷子有破損狀況或芯片上帶顯眼由鑷子所造成的污染,務(wù)必將芯片再次清潔,并馬上拆換潔凈的鑷子應(yīng)用。
2.芯片務(wù)必置放盒中,蓋起來儲放于標(biāo)準(zhǔn)部位,盡量不許它暴露。
3.避免出現(xiàn)在芯片上交談,以避免唾沫濺于芯片上,在芯片進(jìn)擴(kuò)散爐前,請需注意,避免所述行為造成,若芯片上粘有纖維屑時,用N2槍噴之。
4.從鐵弗龍(Teflon)晶舟,石英舟(QuartzBoat)等移動載具(Carrier)上,取下芯片時,務(wù)必豎直往上挾起,避免出現(xiàn)劃傷芯片,光學(xué)顯微鏡攝像鏡頭確已離芯片,即可從吸座移位走芯片。
5.芯片上,若已長上氧化層,在送黃光室前切忌用鉆石刀在芯片上刻記。
6.實際操作時,無論是不是戴上手套,手決不能放入清潔不銹鋼水槽。
7.應(yīng)用有機(jī)化學(xué)站或烤箱處理芯片時,盡量將芯片放置于鐵弗龍晶舟內(nèi),不能應(yīng)用塑料盒子。
8.擺放芯片于石英舟時,若芯片墜落地面上或手上則務(wù)必再次清潔芯片,隨后再進(jìn)氧化爐。
9.請勿觸摸芯片盒內(nèi)部,如被觸碰或者有碎芯片污染,務(wù)必重作清潔。
10.手套,廢舊紙張以及它雜碎物品,切勿留放置工作臺,手套若燒糊、磨爛或纖維變質(zhì)多務(wù)必?fù)Q新。
11.非經(jīng)標(biāo)示,決不可打開不了解的儀器設(shè)備及各種各樣開關(guān)閥操縱鈕或門把。
12.怪異的氣味或反映出現(xiàn)異常的溶液,色調(diào),響聲等請即通告有關(guān)工作人員。
13.儀器設(shè)備因?qū)嶋H操作不正確而有任何毀壞時,盡量馬上告之負(fù)責(zé)工作人員或老師。
14.芯片盒出入無塵車間須維持潔凈,并以保鮮袋封裝,違反者不可進(jìn)到。
15. 無塵車間內(nèi)一律應(yīng)用原子筆及潔凈筆記本電腦做紀(jì)錄,一般紙張與簽字筆不可攜入。
無塵車間內(nèi)空間,由于充分考慮潔凈.就和外部分隔了.自然的氣體進(jìn)不去.房間內(nèi)填滿的是生產(chǎn)物資釋放的氣味.雖無大毒.但時間長了.對肺臟會導(dǎo)致無法估量的影響
減少了人體的抵抗力量