如何操縱珠海市潔凈凈化車間工程的溫度濕度,你確實掌握嗎?凈化車間工程的關鍵作用是出示1個身心健康的衣食住行和環(huán)境,造就1個考慮照明燈具、溫度、環(huán)境濕度、噪聲、氣體總流量、工作壓力、靜態(tài)數(shù)據(jù)和食品衛(wèi)生標準如微震動自然環(huán)境,提供一個良好的空間,環(huán)境控制,從而有效地提高產品的合格率,改善和提高服務質量的相關目標。
珠海凈化車間工程的溫度濕度關鍵依據(jù)加工工藝規(guī)定明確,但在考慮加工工藝規(guī)定的標準下,要考慮到人的舒適度。隨之氣體潔凈度規(guī)定的提升,對溫度和環(huán)境濕度的規(guī)定愈來愈嚴苛。隨之生產加工精密度的提升,對溫度起伏范疇的規(guī)定會愈來愈小。比如,在規(guī)模性集成電路芯片造成的光刻曝出全過程中,夾層玻璃與硅片做為掩模原材料的線膨脹系數(shù)差規(guī)定愈來愈小。直徑100um的硅片,溫度升高1度,就造成了0.24um線形澎漲,因此務必有±0.1度的控溫,一起規(guī)定環(huán)境濕度值較低,由于人流汗之后,對商品將會有環(huán)境污染,非常是鈉的半導體材料生產車間,這類生產車間不可超出25度。
高環(huán)境濕度會造成大量的難題。當空氣濕度超出55%時,冷卻循環(huán)水壁厚曝露。假如它產生在高精密機器設備或電源電路中,就會造成各種各樣安全事故??諝鉂穸韧ǔT?0%銹蝕。除此之外,當環(huán)境濕度很高時,粘附在硅片表層的塵土會被氣體中的氧分子有機化學附著表面,這個很難去掉。 相對濕度、粘接力越高去除越困難,但相對濕度不足30%時,由于靜電粒子對表面吸附的影響,容易破壞很多半導體設備。 硅片生產的最佳溫度范圍為35~45%。
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