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隨著工藝牛產技術的不斷發(fā)展，IC生產對于環(huán)境及其他配套系統(tǒng)的要求也相應越來越嚴格，說到環(huán)境首當其沖的是無塵車間，8”、12”IC生產無論對潔凈度、溫濕度還是空氣中分子級污染物(AMC)、防微振、防靜電等都有極嚴格的要求，有些苛刻的要求甚至使某些傳統(tǒng)的做法受到挑戰(zhàn)。
集成電路(IC)是集多種高新技術于一體的高科技產品，它幾乎存在于所有工業(yè)部門，對國民經濟的發(fā)展起著“倍增器”的作用，因此被先進國家作為戰(zhàn)略性產業(yè)。同時IC產業(yè)也是當今世界上發(fā)展最為迅速、競爭最為激烈的產業(yè)。
無塵車間從平面布置劃分一般有三種形式：即開放式、港灣式、島形布置，IC前工序生產廠通常采用港灣式和開放式無塵車間，港灣式無塵車間在5”、6”IC生產廠用得較多，其工藝設備為穿墻式：而8”、12”IC生產廠則普遍采用開放式無塵車間加微環(huán)境的方式。
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