電子凈化車間的設(shè)計(jì),以芯片生產(chǎn)車間、集成電路無(wú)塵車間和磁盤(pán)制造車間為代表的電子凈化車間工程,除了對(duì)微粒的嚴(yán)格控制外,還對(duì)溫濕度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更嚴(yán)格,消除靜電對(duì)生產(chǎn)產(chǎn)品的影響,從而使環(huán)境達(dá)到電子產(chǎn)品在潔凈環(huán)境的生產(chǎn)工藝要求。
根據(jù)現(xiàn)行規(guī)范,電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A),其設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)如下。
1、電子凈化車間垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
2、電子凈化車間潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。
3、電子制造行業(yè)萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值。
(1)補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
(2)保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40㎡。
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